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快看点丨减少碳排放 消息称美光科技正测试默克低 GWP 替代性蚀刻气体

2022-08-10 06:37:14来源:中关村在线  


(资料图)

随着全球气候的变暖,各国和各企业纷纷制定自己的减碳计划,以减少碳排放,就在近日,根据中国台湾地区媒体《经济日报》的报道,默克公司今日宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。

报道中称,默克公司表示,经过接近一年的持续合作,美光公司目前正在测试默克研发部门提供的低 GWP 替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高 GWP 材料,而他们共同的目标是在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。两家公司都致力于发掘有助实现永续发展目标的新颖材料,以取代现行应用于干蚀刻与光罩清洗制程的多种高暖化潜势的蚀刻气体。

与此同时,美光科技副总裁 John Whitman也 表示,为了能够达成在 2030 年减少 42% 的全球运营所造成的碳排放(相较于 2020 年)这一目标,美光科技投入于投资先进的减排系统、优先使用全球暖化潜势较低的气体、外购节能设备、以可再生能源石化取代能源等方面。

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